济南晶谷中试资产运营公司一行赴鲁晶半导体洽谈碳化硅中试产线合作
10月9日,济南晶谷中试资产运营服务有限公司董事长许凯等一行三人莅临济南鲁晶半导体有限公司,就碳化硅中试产线工艺验证与产业化合作开展专题洽谈。鲁晶半导体总经理徐文汇及核心团队全程接待。
看“芯”成果:展厅全电压段产品矩阵
许凯一行首先来到鲁晶半导体展厅,参观公司自主研发的碳化硅功率器件系列产品,听取650V—5000V全电压段产品矩阵介绍。1200V/100A、3300V/10A大电流高压碳化硅肖特基二极管、1200V/20mΩ碳化硅MOSFET,以及与山东大学新一代半导体材料研究院联合研制的5000V碳化硅肖特基产品。

“半导体制造是典型的技术密集型产业,从一颗样品到一批稳定交付的产品,中间隔着一道看不见的‘中试鸿沟’。”徐文汇介绍,“鲁晶自2018年布局碳化硅赛道,2021年建成碳化硅功率器件专业封测产线,但要向5.0kV高压‘无人区’再迈一步,必须借助中试平台把工艺包真正跑透、跑稳。”
随后,双方围绕碳化硅芯片及封装中试线的共建共享展开深度对接。许凯介绍了济南晶谷集成电路中试平台的建设运营情况。徐文汇详细介绍鲁晶半导体牵头的“面向高压应用的碳化硅功率器件关键技术揭榜挂帅项目”,双方在中试排期、可靠性验证方案、封装测试协同、车规级质量体系对接等方面达成多项共识。

座谈结束后,许凯一行走进鲁晶半导体生产车间与可靠性实验室,实地观摩碳化硅功率器件的制造工艺、可靠性测试及先进封装产线,现场了解万级净化车间、碳化硅专用封测产线以及MES+ERP全流程批次追溯的运行情况。
济南是国内碳化硅产业的重要策源地,上游衬底材料全球领先,但中游芯片制造和高压器件封测环节仍存短板。此次洽谈为济南碳化硅产业补链强链提供了可落地的合作样本。双方表示,将以此次洽谈为契机,推动碳化硅中试产线从“物理叠加”走向“化学融合”,为济南打造千亿级“晶谷”产业集群、加快建设工业强市注入新动能。








